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氣體質量流量計應用范圍MFC和MFM可廣泛地應用于石油化工、半導體和集成電路、特種材料學科、醫藥、環保和真空等多種領域的科學研究和生產中，其典型應用有：電子工藝設備，如氧化、CVD、擴散、外延、等離子蝕刻、離子注入和濺射，以及微反應裝置、配氣和混氣系統、鍍膜設備、光纖熔煉、氣相色譜儀以及其它分析儀器。渦街流量計其特點是壓力損失小，量程范圍大，精度高，在測量工況體積流量時幾乎不受流體密度、壓力、溫度、粘度等參數的影響。無可動機械零件，因此可靠性高，維護量小。儀表參數能長期穩定。渦街流量計采用壓電應力式傳感器，可靠性高，可在-20℃～+250℃的工作溫度范圍內工作。有模擬標準信號，也有數字脈沖信號輸出，容易與計算機等數字系統配套使用，是一種比較先進、理想的測量儀器。蒸汽流量計主要用于工業管道中蒸汽介質流體的流量測量，蒸汽流量計特點是壓力損失小,量程范圍大,精度高,在測量工況體積流量時幾乎不受流體密度、壓力、溫度、粘度等參數的影響。無可動機械零件，因此可靠性高,維護量小。儀表參數能長期穩定。電磁流量計其作用是產生均勻的直流或交流磁場。直流磁路用永久磁鐵來實現，其優點是結構比較簡單，受交流磁場的干擾較小，但它易使通過測量導管內的電解質液體極化，使正電極被負離子包圍，負電極被正離子包圍，即電極的極化現象，并導致兩電極之間內阻增大，因而嚴重影響儀表正常工作。當管道直徑較大時，永久磁鐵相應也很大，笨重且不經濟，所以電磁流量計一般采用交變磁場，且是50HZ工頻電源激勵產生的。 應用對象：流量控制器應用系統集成器、專用氣體制造商、真空元件供應商、真空系統集成器、 途和特點 氣體質量流量計適用于氣體質量的精確測量。它將被測氣體質量流量轉換為相應標準狀態下的氣體體積流或標準狀態下的氣體質量流。 該氣體質量流量計具有精度高，使用壽命長，重復性好，流量范圍寬，穩定可靠等特點。通過氣體質量測試方法測量氣體，目前在中國處于領先地位。
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